20 abs 1 nr 6 satz 5 estg July 8, 2019 16 32 64 128 20 abs 1 nr 6 estg § 20 abs. 6 satz 1 estg 20 abs 1 nr 6 satz 9 estg 20 abs 6 estg neue fassung § 20 abs. 1 nr. 6 estg alte fassung 2004